半導体リソグラフィープロセス照明（T8 イエロー LED チューブ照明 アンチ UV LED チューブ）の選び方
1. 明るさの要件
半導体リソグラフィープロセスでは、照明光源がチップの結像品質を保証するため、明るさの要件は非常に重要です。 一般に、フォトリソグラフィーの露光に必要な明るさは 100-150mW/cm² です。 明るさが低すぎると露出不足が発生し、チップイメージングの鮮明さと精度に影響を与えます。
2. 均一性要件
明るさの要件に加えて、照明の均一性も重要な要素です。 フォトリソグラフィープロセスにおいて、均一性とは、プロジェクター上のあらゆる場所の輝度分布の違いを指します。 一般に、均一性要件は 1% ～ 3% です。 均一性が不十分な場合、チップの露光が不均一になり、画像の鮮明さと精度に影響を与える可能性があります。
3. 色温度の要件
照明の色温度とは、照明光の色を指します。 半導体リソグラフィープロセスでは、色温度の選択も非常に重要です。 一般的に、色温度要件は 3500K-5000K です。 色温度が低すぎるか高すぎる場合、チップの画像の鮮明さと精度が低下する可能性があります。
つまり、半導体リソグラフィープロセスにおける照明要件は非常に重要であり、明るさ、均一性、色温度などの点で特定の要件を満たす必要があります。照明の品質を確保することによってのみ、チップの品質と精度をより適切に保証することができます。イメージング。
特定の詳細パラメータ:
1.紫外線を100％カット（フィルター波長<500nm）。
2.ドイツの材料技術の向上。
3.PC原料V2難燃性評価。
4.Epistar LED チップ 100-120lm/w、1500K -2000K
5.絶縁型電源ルビコンコンデンサを内蔵。
6.イエロークリアとフロストカバーが利用可能です。
https://www.benweilight.com/lighting-tube-bulb/special-t8-led-tube/
